煙氣脫硝設備主要包括酸吸收法、堿吸收法、選擇性催化還原法、非選擇性催化還原法、吸附法、離子體活化法等。 國內外的科學家中也有人正在開發用微生物處理NOX廢氣的方法，下面以此為例進行簡單說明。 燃燒系統排出的排煙中的NOX 90 %以上為NO，NO不易溶于水，因此NOx的濕式處理無法使用簡單的清洗法。 O3氧化吸收法是用O3將NO2氧化成NO2，再用水吸收。 該方法的產物HNO3液體需要濃縮處理，而且O3需要高壓制取，初次投資和運行成本較高。 ClO2氧化還原法ClO2將NO氧化成NO2，然后用Na2SO3水溶液將NO2還原成N2。
